กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนเป็นชุดของวิธีการตรวจสอบอิเล็กตรอนที่ช่วยให้ศึกษาโครงสร้างจุลภาคของของแข็ง ตลอดจนองค์ประกอบในท้องถิ่นและไมโครฟิลด์
ด้วยวิธีการวิจัยนี้ มีการใช้อุปกรณ์พิเศษ - กล้องจุลทรรศน์ซึ่งภาพจะขยายใหญ่ขึ้นเนื่องจากมีลำแสงอิเล็กตรอน
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนมีสองส่วนหลัก:
• Transmission - ดำเนินการโดยใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่าน ซึ่งวัตถุจะส่องสว่างด้วยลำอิเล็กตรอนที่มีพลังงาน 50 ถึง 200 keV อิเล็กตรอนที่ผ่านวัตถุภายใต้การศึกษาตกบนเลนส์แม่เหล็กพิเศษ เลนส์เหล่านี้สร้างภาพของโครงสร้างภายในทั้งหมดของวัตถุบนหน้าจอหรือฟิล์มพิเศษ ต้องบอกว่ากล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่านทำให้สามารถเพิ่มได้เกือบ 1.5106 เท่า ทำให้สามารถตัดสินโครงสร้างผลึกของวัตถุได้ จึงถือเป็นวิธีหลักในการศึกษาโครงสร้างที่ละเอียดมากของของแข็งต่างๆ
• กำลังสแกน(การสแกน) กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน - ดำเนินการโดยใช้กล้องจุลทรรศน์พิเศษซึ่งรวบรวมลำแสงอิเล็กตรอนลงในโพรบบาง ๆ โดยใช้เลนส์แม่เหล็ก มันสแกนพื้นผิวของวัตถุภายใต้การศึกษา และในกรณีนี้ รังสีทุติยภูมิเกิดขึ้น ซึ่งถูกบันทึกโดยเครื่องตรวจจับต่างๆ และแปลงเป็นสัญญาณวิดีโอที่เกี่ยวข้อง
เป็นที่น่าสังเกตว่ากล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนมีข้อได้เปรียบเหนือวิธีการทั่วไปของการวิเคราะห์ไมโครด้วยสเปกตรัมเอ็กซ์เรย์ ด้วยเหตุนี้จึงแพร่หลายมากขึ้นและสามารถเรียกได้ว่าเป็นความสำเร็จที่สำคัญของนาโนเทคโนโลยีสมัยใหม่
นอกจากนี้ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนยังทำให้เกิดการพัฒนารูปร่างของคอมพิวเตอร์อย่างเข้มข้น ซึ่งสาระสำคัญคือการใช้เทคโนโลยีคอมพิวเตอร์เพื่อการประมวลผลภาพอิเล็กทรอนิกส์ที่ละเอียดและสมบูรณ์ยิ่งขึ้น
จนถึงปัจจุบัน ระบบฮาร์ดแวร์-ซอฟต์แวร์ได้รับการพัฒนาที่สามารถจัดเก็บภาพที่ได้รับและดำเนินการประมวลผลทางสถิติ ปรับความคมชัดและความสว่าง และเน้นรายละเอียดส่วนบุคคลของโครงสร้างจุลภาคภายใต้การศึกษา
กล้องจุลทรรศน์อิเล็คตรอนสมัยใหม่ติดตั้งโปรเซสเซอร์พิเศษที่ช่วยลดโอกาสเกิดความเสียหายต่อตัวอย่างวัสดุที่กำลังศึกษา รวมทั้งเพิ่มความน่าเชื่อถือของข้อมูลที่เกี่ยวข้องกับการวิเคราะห์โครงสร้างจุลภาคของวัตถุ ซึ่งช่วยให้ทำงานสะดวกขึ้นอย่างมาก ของนักวิจัย
ความสำเร็จของการวิเคราะห์อิเล็กตรอนแบบไมโครถูกนำมาใช้อย่างแข็งขันเพื่อทำความเข้าใจปฏิสัมพันธ์ของอะตอม ซึ่งช่วยให้คุณสร้างเนื้อหาด้วยคุณสมบัติใหม่และการสร้างแบบจำลอง 3 มิติขั้นสูงช่วยให้นักชีววิทยาสามารถสำรวจกลไกระดับโมเลกุลที่สำคัญที่รองรับกระบวนการทางชีววิทยาทั้งหมดได้ นอกจากนี้ ด้วยการใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน ทำให้สามารถทำการทดลองแบบไดนามิกจำนวนมากและได้รับพื้นฐานที่จำเป็นสำหรับการสร้างโครงสร้างนาโนใหม่